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    加熱臺

    樣品變溫臺

     

    特點

    使用直流電,噪聲低

    配備隔離套裝,實現PA級電信號測試精度

    隔絕水循環對chuck底座進行過溫保護

    易于拆裝,可以在絕大多數探針臺上加裝

     

    規格

    真空吸附載物臺的尺寸 

    4, 6, 8,英寸直徑;厚度為1英寸 

    Chuck 平整度

    ±10 微米 

    控溫范圍

    常溫到300攝氏度(或更高溫度)

    控溫精度

    0.1℃

    溫度穩定度

    ±1%

    從25 ℃開始升溫時間  

    100 ℃    150 ℃    200 ℃  300 ℃

    (4 英寸chuck,單位:

    分鐘 ) 

    1:00      2:30      3:00    4:30

    電源

    直流

    材質

    不銹鋼 

     

    需求

    供電

    220V AC, 60Hz

    電力消耗

    4英寸chuck 700W

     

    6英寸chuck 1000W

     

    8英寸chuck 1500 W

    真空

    -250 mmHg, 7 liter/min

    循環水

    20 Liter/Min

     

    尺寸

    控制器 350mm長 x 300mm寬 x 150mm高 

    重約20 Kg

     

    附件

    高溫配件,可以升溫至300 ℃, 400 ℃, 500 ℃, 600 ℃, 700 ℃

    低溫配件,可以冷卻至5 ℃, -50 ℃, -65 ℃, 或者低溫至-196 ℃

    用于其他品牌探針臺的安裝轉接口 

    方形chuck 

    加速升溫配件

    水冷箱

    更低電流測試用的屏蔽裝置

    真空腔體

    測試屏蔽腔體

    真空吸附的chuck

    鍍金的chuck

    鍍鎳的chuck

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