樣品變溫臺

特點

使用直流電，噪聲低

配備隔離套裝，實現PA級電信號測試精度

隔絕水循環對chuck底座進行過溫保護

易于拆裝，可以在絕大多數探針臺上加裝

規格

真空吸附載物臺的尺寸 

4, 6, 8,英寸直徑；厚度為1英寸 

Chuck 平整度

±10 微米 

控溫范圍

常溫到300攝氏度（或更高溫度）

控溫精度

0.1℃

溫度穩定度

±1%

從25 ℃開始升溫時間  

100 ℃    150 ℃    200 ℃  300 ℃

(4 英寸chuck，單位：

分鐘 ) 

1:00      2:30      3:00    4:30

電源

直流

材質

不銹鋼 

需求

供電

220V AC, 60Hz

電力消耗

4英寸chuck 700W

6英寸chuck 1000W

8英寸chuck 1500 W

真空

-250 mmHg, 7 liter/min

循環水

20 Liter/Min

尺寸

控制器 350mm長 x 300mm寬 x 150mm高 

重約20 Kg

附件

高溫配件，可以升溫至300 ℃, 400 ℃, 500 ℃, 600 ℃, 700 ℃

低溫配件，可以冷卻至5 ℃, -50 ℃, -65 ℃, 或者低溫至-196 ℃

用于其他品牌探針臺的安裝轉接口 

方形chuck 

加速升溫配件

水冷箱

更低電流測試用的屏蔽裝置

真空腔體

測試屏蔽腔體

真空吸附的chuck

鍍金的chuck

鍍鎳的chuck