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    SC系列探針臺

    C12高低溫探針臺

    產品概要

    C12高低溫探針臺具有優異的機械系統,結構性能穩定,人體工程學設計,操作便捷,支持多功能升級,功能豐富全面。該產品主要應用于集成電路,LED,LCD,太陽能電池,半導體行業的制造和研究領域。

    基本信息

    產品型號

    C12

    工作環境

    高低溫環境

    電力需求

    220VC,50~60Hz

    操控方式

    手動

    產品尺寸

    1400mm*920mm*920mm

    設備重量

    150KG/170KG/250KG

    應用方向

    高低溫環境下,LD/LED/PD測試,PCB/封裝器件測試,材料/器件的IV/CV特性測試、0.2微米以上芯片內部線路/電極/PAD測試、高頻、射頻測試等

    規格 SC-6 SC-8 SC-12
    外形 860mm*850mm*700mm 880mm*860mm*750mm 1400mm*920mm*920mm
    重量 150公斤 約170公斤 約250公斤
    電力需求 220VC,50~60Hz
    樣品臺 尺寸 6英寸,可360度旋轉 8英寸,可360度旋轉 12英寸,可360度旋轉
    行程 X-Y行程6*6英寸 X-Y行程8*8英寸 X-Y行程12英寸*12英寸
    移動精度 1um
    切換樣品功能 樣品臺快速拉出
    樣品固定方式 真空吸附
    電學運用 電學獨立懸空,可作為背電極使用
    針座平臺 規格 O型平臺,最多可放置8個針座 O型平臺,最多可放置10個針座 O型平臺,最多可放置12個針座
    行程&調節方式 平臺可以快速升降,行程 6mm并帶自動鎖定功能;可以上下微調,行程25mm,升降精度1um
    溫控特性 溫度范圍 ﹣100~200℃ ﹣80~200℃ ﹣60~200℃
    溫控精度 溫度分辨率 : 0.01°C
    加熱電源 LVDC 低壓直流
    最低控溫速率 ±0.1°C /小時
    制冷方式 液氮制冷
    光學特性 顯微鏡行程 X-Y軸行程2英寸*2英寸,Z軸:50.8mm
    切換鏡頭方式 顯微鏡氣動升降 
    放大倍數 16~100X/20~4000X
    鏡頭規格 目鏡:10X;物鏡:5X,10X,20X,50X,100X(選配)
    CCD像素 50W(模擬)/200W(數字)/500W(數字)
    點針規格 X-Y-Z行程 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm
    機械精度 10微米/2微米/0.7微米/0.1微米
    漏電精度 10pA/100fA(配置屏蔽箱時)
    接口形式 香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸/SMA/K接口
    應用方向 高低溫環境下,LD/LED/PD測試,PCB/封裝器件測試,射頻測試等。
    可選附件 探針卡夾具 防震臺 低電流/電容測試
    顯微鏡暗場/DIC/Normarski 檢測光強/波長測試接口部件 鍍金卡盤 光纖夾具耦合測試選件
    同軸叁軸卡盤 封裝器件夾具
    射頻測試附件 光強/光譜/波長測試選件 PCB/封裝夾具測試選件
    高壓/大電流測試套裝 有源探頭 特殊定制
    屏蔽箱 轉接頭  
    特點
    非真空環境下的低溫測試,可達-100℃ 大手柄驅動,操作舒適,無回程差設計
    兼容高倍率金相顯微鏡,可微調移動 0.2微米以上芯片內部線路/電極/PAD測試
    高等院校/研究所/公司實驗室使用 LD/LED/PD的光強/波長測試
    最大可用于12英寸以內樣品測試 材料/器件的IV/CV特性測試
    同軸絲杠傳動結構,線性移動 器件的高頻特性(支持最高至300GHz頻率)
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